| メーカー/型番 | レーザーテック製 OPTELICS HYBRID C3 |
|---|---|
| 用途例 | 表面凹凸形状の観察と形状解析（面積・体積・表面積など）、粗さ測定 |
機能
・共焦点法による表面凹凸形状の観察と測定
・光干渉法による表面形状測定
・微分干渉法による表面観察
・形状特徴の解析（面積・体積・表面積など）
・粗さ測定
特長
・共焦点による焦点深度の深い高コントラストでの観察
・高精度３D測定が可能
・数十nm～数mmの広いレンジでの表面形状測定が可能
・大気中での観察が可能
・顕微鏡感覚の使いやすさ
・国家計量標準に対応したトレーサビリティ対応
・JIS/ISOに準拠した2D・３D表面粗さ測定
用途例
・表面の２D・3D粗さ測定
・表面微細構造物の観察・測定
・表面傷の深さ、長さなどの形状測定
・光干渉法による半導体ウェハのうねり測定
・微分干渉法によるガラスの傷観察
主要スペック
| 光源 | キセノン |
| 倍率 | 18.5～2,775倍 |
| ズーム | 1～8× |
| 視野 | 最大5mm（視野連結機能有り） |
| 測定再現性（幅、高さ） | 幅 3σ=10nm 高さ σ=10nm |
| 測定高さ範囲 | 7mm |
| フレームレート | 15Hz～120Hz |
| 試料最大高さ | 80mm |
| XYステージ可動範囲 | 150mm×150mm（電動） |