| メーカー/型番 | 日本電子社製 JSM-6390A |
|---|---|
| 用途例 | 疲労破面の観察等 |
電子線を試料に当てて表面を観察する装置で、EDS（エネルギー分散型X線検出器）により元素分析を行うことができる
特長
・表面に凹凸があっても鮮明な画像が得られる
・ペルチェ冷却方式X線分光器を搭載しており、画像内局所の化学元素分析が迅速にできる
機能
・試料表面を大きく拡大して表面形状などを観察する
・表面や断面の異物などの化学元素分析ができる
用途例
・研削面などの性状観察
・破損部品などの破面観察
・表面に付着した異物の元素分析
・材料内非金属介在物の元素分析
・材料の化学成分調査、マッピング
主要スペック
| ・倍率 | 5～300,000倍 |
| ・分析可能元素 | C（カーボン）～U（ウラン）；周期律表 |
| ・分解能 | 3.0nm（2次電子分解能） |
| ・試料台 | Φ30mm |
| ・X線分光器 | エネルギー分散型 |
金属疲労破面写真(×400）
