主要設備

原子間力顕微鏡(AFM)<ものセン阪神整備機器>

メーカー/型番 キーエンス社製 VN-8010
用途例 DLC膜表面粗さ観察等

微小な針(探針:プローブ)を試料表面に近づけて走査し、原子間力を検出して試料の凹凸を測定する顕微鏡

特長

・試料表面状態の超高精細観察が可能
・大気中での観察が可能で、試料への前処理が不要

機能

・微細な表面形状を高倍率で観察する

用途例

・DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜表面粗さ観察
・プリント配線観察
・超微細粒子観察

主要スペック 

・垂直分解能0.3nm
・観察範囲(XY)200nm~200㎛ (Z)±10㎛
・モニタ倍率250~1280倍

観察例

Siウェハに成膜したCuナノ粒子(粒子径:70~100nm)

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