主要設備

ナノ秒パルスレーザ加工装置

メーカー/型番 テクニー社製 特別仕様
用途例 透明電動膜(ITO膜)のパターニング等

微細加工に適した多波長パルスレーザ加工装置

特長

・微小ビーム径による微細加工
・パルスレーザ光のため熱影響が少ない
・被加工材のレーザ光吸収特性に応じた波長の選択が可能(赤外~紫外レーザ)

機能

・樹脂、金属材料の微細加工(パターニング、穴あけ、切断)

用途例

・透明電動膜(ITO膜)のパターニング
・樹脂、ゴム、金属薄板の穴あけ加工
・樹脂フィルム、金属箔の切断加工

主な仕様

・レーザ波長1064nm、532nm、355nmから選択
・最大レーザ出力15W(1064nm)、10W(532nm)、5W(355nm)
・パルス幅13ns(@355、50kHz)
・パルス周波数20~100kHz
・集光スポット径Φ0.02mm(@355nm)
・2軸加工ステージ真空チャック方式、寸法430×330mm
・加工ステージ可動範囲900mm×560mm
・繰返し位置決め精度±5μm

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