ピコ秒パルスレーザ加工装置による微細加工 課題 従来はレーザ加工が困難だった銅やガラスへの微細加工の実現 実施内容 ピコ秒パルスレーザ加工装置を用いて材料表面へのマーキングや切断等の加工を行う。 成果 各種材料へのマーキングや困難な切断加工が可能となった。 使用装置 ナノ秒パルスレーザ加工装置